静電容量型センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078540
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274585
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】各種誤差要因を排除し、高精度で安定性(再現性)の高い検出を行うとともに、低コストに実施する。【解決手段】一定の正電圧V及び負電圧-Vを出力する電源部5と、正電圧V又は負電圧-Vを積分する積分回路6と、この積分回路6の出力電圧Eが予め設定した上限値Eu及び下限値Edに達したなら出力レベルが反転する比較回路7と、比較回路7の出力レベルに対応して正電圧V又は負電圧-Vを積分回路6に選択的に付与する第一スイッチ部8と、検出用コンデンサ2又は補正用コンデンサ3を積分回路6の定数として積分回路6に選択的に接続する第二スイッチ部9と、第二スイッチ部9を所定条件に従って定期的に切換えるとともに、比較回路7から出力する検出信号Spに基づいて物理量の大きさを求める検出処理部4を備える。

請求項（抜粋）：

検出する物理量の大きさにより静電容量が変化する検出用コンデンサと、前記検出用コンデンサから検出される静電容量の大きさを補正する補正用コンデンサと、前記検出用コンデンサ及び前記補正用コンデンサの静電容量を時間量に変換して前記物理量の大きさを検出する検出処理部を備える静電容量型センサにおいて、一定の正電圧及び負電圧を出力する電源部と、前記正電圧又は負電圧を積分する積分回路と、前記積分回路の出力電圧が予め設定した上限値及び下限値に達したなら出力レベルが反転する比較回路と、前記比較回路の出力レベルに対応して前記正電圧又は負電圧を前記積分回路に選択的に付与する第一スイッチ部と、前記検出用コンデンサ又は前記補正用コンデンサを前記積分回路の定数として当該積分回路に選択的に接続する第二スイッチ部と、前記第二スイッチ部を所定条件に従って定期的に切換えるとともに、前記比較回路から出力する検出信号に基づいて前記物理量の大きさを求める検出処理部を備えることを特徴とする静電容量型センサ。

IPC (4件)：

G01L 9/12 , G01D 5/24 , G01L 1/00 , G01L 19/04

FI (5件)：

G01L 9/12 , G01L 1/00 J , G01L 19/04 , G01D 5/24 G , G01D 5/24 W

前のページに戻る