自動フォトマスク検査装置及び方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴江武彦 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-285565
公開番号（公開出願番号）：特開2006-085182
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】低コスト且つ誤謬の少ない欠陥探索並びにその型分類を自動的に行なう基板検査装置とその方法、特にマスク・レチクル等の基板に於いて欠陥粒子及び設計者の意図とは異なる欠陥図形を探索発見する自動検査と、それ等欠陥の型の自動分類とを行なう基板検査装置及びその自動検査方法を提供する。【解決手段】光ビームを発生し、その光ビームをして一定の光路を通過せしめ検査基板の上の表面にほぼ実質的に直角入射するようにする照明系、その光路に対して同軸になるように調整して透過光を集めて検出する透過光検出器34、同様に反射光を集めて検出する反射光検出器36とそれぞれの電気信号を互いに比較して比較値を提供する為の比較器、別にその比較値の期待値を得て比較値とその期待値との一致性を判定するプロセッサにて構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

不必要な粒子および欠陥に関して基板を検査する検査装置であって、前記基板は上面および下面を有し、前記上面に不透明材料のパターンが設けられており、前記検査装置は、前記基板の前記上面の一点に光路を通して前記パターンに実質的に垂直である光ビームを提供する照明系と、前記基板の前記上面の照射された点から前記基板を通過した前記光ビームの透過部分を検出し、そして前記光ビームの前記検出された透過部分について表現する信号を提供するために、前記光路と同軸的に配置された透過光検出器と、前記基板およびその上の前記パターンの前記照射された点から反射された前記光ビームの部分を検出し、そして前記光ビームの前記検出された反射された部分について表現する信号を提供するために、前記光ビームの前記光路に沿って同軸的に配置された反射光検出器と、透過光検出器および反射光検出器からの信号を正規化し、そして透過光検出器または反射光検出器からの正規化された信号の二次微分値を決定するために透過光検出器および反射光検出器に接続されたプロセッサと、 1つまたはそれより多い比較値を提供するために1つまたはそれより多い前記正規化された信号および二次微分値を比較するために前記プロセッサに接続された比較器と、前記比較器の期待値を記憶させるための第1メモリとを含み、前記1つまたはそれより多い比較値が期待値であるかどうかを決定し、そして非期待値であると決定されたときは報告を作成するために、前記プロセッサは前記第1メモリと接続されており、前記検査装置はさらに前記基板の前記上面と前記光ビームとの間で移動動作を提供する移動ステージを含み、前記比較器は、前記基板の前記上面およびその上の前記パターンの各点に関する1つまたはそれより多い比較値を提供するために、さらに1つまたはそれより多い前記正規化された信号および二次微分値を比較し、前記プロセッサは、前記1つまたはそれより多い比較値の1つまたはそれ以上が期待値を有するかどうかをさらに決定し、そして少なくとも1つが非期待値であると決定されたときは報告を生成し、前記検査装置はさらに、前記透過光および反射光検出器からの前記正規化された信号のそれぞれおよび同じ設計の基板に関する各点における二次微分値に関する期待値の範囲を生成するために、同じ設計の複数の基版の上面への照射の結果による前記透過光および反射光検出器のそれぞれからの1つの正規化された信号を含む複数の信号対のファミリ、および透過光検出器または反射光検出器からの正規化された信号の二次微分値を記憶するための第2メモリを含み、そして前記プロセッサは、検査される基板の各点に関する正規化された透過および反射光信号および二次微分値が、期待値の前記範囲内にあるかどうかを決定するために、前記第2メモリと接続されている基板検査装置。

IPC (3件)：

G03F 1/08 , G01N 21/956 , G01B 11/30

FI (3件)：

G03F1/08 S , G01N21/956 A , G01B11/30 A

Fターム (50件)：

2F065AA22 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC18 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065FF23 , 2F065FF41 , 2F065FF46 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH15 , 2F065JJ18 , 2F065JJ22 , 2F065LL08 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065LL57 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ13 , 2F065QQ16 , 2F065QQ31 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2G051AA56 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AC01 , 2G051AC21 , 2G051BA04 , 2G051BA10 , 2G051BB11 , 2G051CA01 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA21 , 2G051EB01 , 2G051EB09 , 2G051EC02 , 2H095BD02 , 2H095BD04 , 2H095BD11 , 2H095BD24

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭58-162038
特開平3-209843
印刷物検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-278696 出願人：株式会社イーゼル

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