特許

J-GLOBAL ID：200903065293708908

圧電素子、電子デバイスおよび電子機器

発明者： 藤森 修
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-194283
公開番号（公開出願番号）：特開2007-013009
出願日： 2005年07月01日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】長期にわたり優れた特性を発揮することができる圧電素子、この圧電素子を備える電子デバイス、および、この電子デバイスを備える電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の圧電素子4は、主として圧電材料で構成された圧電体41と、圧電体41に接合された1対の電極42、43とを有し、1対の電極42、43に電圧を印加することにより、圧電体41を変位または変形させるよう構成されたものであって、電極42、43が付された圧電体41の少なくとも一部が、主として無機材料で構成された保護膜44で覆われ、保護膜44の少なくとも一部に、撥水処理が施されている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

主として圧電材料で構成された圧電体と、 前記圧電体に接合された1対の電極とを有し、 前記1対の電極に電圧を印加することにより、前記圧電体を変位または変形させるよう構成された圧電素子であって、 前記電極が付された前記圧電体の少なくとも一部が、主として無機材料で構成された保護膜で覆われ、 前記保護膜の少なくとも一部に、撥水処理が施されていることを特徴とする圧電素子。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  H02N 2/00 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (9件)：

H01L41/08 C ,  H02N2/00 B ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A

Fターム (9件)：

2C057AF70 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP60 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-040056   出願人：セイコーエプソン株式会社