感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-320492
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091399
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】環境に負荷を与える可能性の高いハロゲン含有化合物類およびアンチモン化合物を含まず、硬化後に良好な難燃性を発現する感光性樹脂組成物を提供すること、さらには、有機溶剤を用いなくても水酸化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等の低濃度アルカリ水溶液で現像でき、かつ現像後熱処理してイミド化して得られる皮膜が、良好な可撓性、屈曲性、耐薬品性を有しながら優れた長期絶縁信頼性を発現する感光性樹脂組成物を提供する。【課題手段】(A)下記一般式(1)で表されるビス(メタ)アクリレート化合物と(B)ポリイミド前駆体及び(C)光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物。 (1)(式中、R1およびR2は炭素数2〜5の脂肪族炭化水素基、R3およびR4は水素原子またはメチル基、R5はベンゼン環を1個以上有する芳香族基を表し、nおよびmは1〜15の整数である。)

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表されるビス(メタ)アクリレート化合物、(B)ポリイミド前駆体および(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (化1)

IPC (5件)：

G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/037 , H05K3/28 , H05K3/46

FI (6件)：

G03F7/027 513 , G03F7/004 512 , G03F7/037 501 , H05K3/28 D , H05K3/28 F , H05K3/46 T

Fターム (35件)：

2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC45 , 2H025BC67 , 2H025CA00 , 2H025CB25 , 2H025EA08 , 2H025FA17 , 5E314AA27 , 5E314AA36 , 5E314BB02 , 5E314BB11 , 5E314BB13 , 5E314CC15 , 5E314FF06 , 5E314GG26 , 5E346AA12 , 5E346AA17 , 5E346CC10 , 5E346DD02 , 5E346EE42 , 5E346GG02 , 5E346HH11 , 5E346HH13 , 5E346HH40

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭54-145794
特開昭59-160140
特開平3-170547

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審査官引用 (6件)

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性ソルダーレジストの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-026022 出願人：日立化成工業株式会社
ポリイミド、その前駆体、それらの製造法及び感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-300601 出願人：日立化成工業株式会社
特開平2-032353

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