特許
J-GLOBAL ID：200903065296411000

基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者：
加藤 欣也

加藤 欣也 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164951
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339701
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 基板の各層毎の種々の欠陥を高い信頼性をもって検査する。【解決手段】 基板Wの表面の法線に対して光軸が80°〜89°の角度θiをもって配置された照明光学系10と、前記照明光学系10によって照明された基板Wの表面に関する情報を含んだ光を受光する受光手段30と、前記基板Wからの所定の光を選択的に受光するために、前記受光手段の受光角を設定する受光角設定手段40と、前記基板Wの表面と交差する軸線回りに前記基板を回転させる回転機構50とを備える。照明光学系の光軸が基板表面の法線に対して90°に近い角度をもって配置されているので、照明光の大半が基板の表面で反射され、主として基板の表面の情報が取り出される。
請求項（抜粋）：
基板の欠陥検査装置であって;前記基板の表面の法線に対して光軸が80°〜89°の角度をもって配置された照明光学系と;前記照明光学系によって照明された基板の表面に関する情報を含んだ光を受光する受光手段と;前記基板からの所定の光を選択的に受光するために、前記受光手段の受光角を設定する受光角設定手段と;前記基板の表面と交差する軸線回りに前記基板を回転させる回転機構とを備えることを特徴とする;基板の欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G01N 21/84
FI (2件)：
G01N 21/88 E ,  G01N 21/84 C
引用特許：
審査官引用 (3件)

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