特許
J-GLOBAL ID：200903065297205978
試料保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254871
公開番号（公開出願番号）：特開平6-106434
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】作業性の向上を図れるとともに、全体の低価格化および小型化を図れる試料保持装置を提供する。【構成】ベース41に設けられた支柱42の回りには環状部材43が配置されており、この環状部材43で試料保持台45が支持されている。支柱42と環状部材43とは周方向に等配された板ばね46a〜46cによって連結されている。環状部材43とベース41との間にはベースと環状部材との相対位置を可変するマイクロメータヘッド49a〜49cが配置されている。各板ばね46a〜46cは、環状部材側の固定点と支柱側の固定点とを結んだ直線の延長線が試料保持台に保持されている試料Pの表面で互いに交わるように設けられ、かつ前記環状部材43の変位方向に沿う方向の剛性が他に較べて弱く設定されている。
請求項（抜粋）：
ベースと、このベースに設けられた支柱と、この支柱の回りに配置された環状部材と、この環状部材に支持された試料保持台と、前記支柱と前記環状部材とを連結するように周方向に3個以上配置された弾性支持機構と、前記環状部材と前記ベースとの間に3個以上配置されて上記ベースと上記環状部材との相対位置を可変する駆動機構とを備え、前記各弾性支持機構は、前記環状部材側の固定点と前記支柱側の固定点とを結んだ直線の延長線が前記試料保持台に保持されている試料の表面近傍で互いに交わるように設けられ、かつ前記環状部材の変位方向に沿う方向の剛性が他に較べて弱く設定されていることを特徴とする試料保持装置。
IPC (4件)：
B23Q 3/02
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, H01L 21/66
