特許
J-GLOBAL ID：200903065304027681
塗布装置および塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247093
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087224
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 高い設計自由度を有し、しかも優れた塗布性能の再現性および安定性を有する塗布装置および塗布方法を提供する。【解決手段】 ノズル1に対して外部タンク5が別個独立して設けられるとともに、ノズル1と外部タンク5とを連通してノズル1内に設けられた塗布液槽11に塗布液を適宜補充し、当該塗布液槽11には、塗布液が常時満たされる。このため、このノズル1内での塗布液のゲル化を防止することができ、ノズル1の着脱洗浄処理の必要性を大幅に低減することができる。このため、ノズル1の着脱回数を最小限に抑えることができ、高い頻度で着洗浄を必要としていた従来の塗布装置に比べて、塗布性能の再現性および安定性を高めることができる。
請求項（抜粋）：
基板を鉛直あるいは傾斜姿勢で保持する基板保持手段と、塗布液を一時的に貯留する塗布液槽を有し、当該塗布液槽内の塗布液を前記被塗布面に向けて供給可能に構成されたノズル手段と、大気開放された状態で塗布液を貯留するとともに、前記塗布液槽に連通されて当該塗布液を前記塗布液槽に補充可能に構成された外部タンクと、前記基板保持手段に保持された基板に前記ノズル手段を近接させた状態で、当該基板の被塗布面に沿って前記ノズル手段を相対的に移動させる移動手段とを備え、前記移動手段によって前記ノズルと前記基板とを相互に近接させた状態で相対的に移動させつつ、毛管現象で前記塗布液槽から汲み上げられた塗布液を前記基板の被塗布面に塗布するとともに、当該塗布処理により前記塗布液槽から汲み上げられた塗布液量分だけ前記外部タンクから補充されて前記塗布液槽が塗布液で常時充満されることを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B05C 3/18
, B05C 11/105
, B05D 1/26
, G03F 7/16 501
H01L 21/30 564 Z
, B05C 3/18
, B05C 11/105
, B05D 1/26
, G03F 7/16 501
