マトリクスアレイ基板及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：蔦田璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-152137
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338525
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】柱状スペーサ及び平坦化膜を備えたマトリクスアレイ基板、及びその製造方法において、製造工程数及び製造コストを大幅に削減することができ、また、柱状スペーサの突起高さをより均一にでき、これにより製品の品質安定性を向上することができるものを提供する。【解決手段】TFT1及び金属配線パターンの形成後、まず、アクリル系樹脂21,22を均一な高さをなすようにコーティングする。次いで、TFT1の個所にレジストを形成して、CF4ガスと酸素ガスと混合ガス(CF4の体積濃度10%)を用いて、反応性イオンエッチングを行う。このようなエッチング条件であると、スペーサ突起2に近接した個所を除いて、耐エッチング性の堆積物5が形成される。そのため、エッチングによりスペーサ突起2の形成と同時に、厚さが減じられて平坦化膜25が形成されるとともに、スペーサ突起の四周には周溝状のスルーホール23が形成される。

請求項（抜粋）：

画像表示領域にマトリクス状に配列される複数の画素電極と、この画素電極ごとに配置されるスイッチング素子と、このスイッチング素子を介して画素電極に映像信号を供給するための複数の信号線と、この信号線に略直交するように配列され、スイッチング素子のスイッチング動作を駆動する複数の走査線と、少なくとも前記画素電極と前記スイッチング素子との間に配される平坦化膜と、スペーサ突起とを備えた、平面表示装置用のマトリクスアレイ基板において、前記スペーサ突起は前記平坦化膜と同一のコーティング層または堆積層を含み、前記スイッチング素子と前記画素電極とを電気的に接続するための、前記平坦化膜のスルーホールと、前記スペーサ突起とが同一工程で作成されることを特徴とするマトリクスアレイ基板。

IPC (5件)：

G02F 1/1365 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1339 500

FI (5件)：

G02F 1/136 500 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1339 500

Fターム (50件)：

2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB03 , 2H048BB28 , 2H048BB42 , 2H089LA09 , 2H089NA14 , 2H089NA15 , 2H089NA17 , 2H089NA24 , 2H089PA05 , 2H089QA12 , 2H089QA14 , 2H089TA09 , 2H089TA12 , 2H090HA03 , 2H090HB07X , 2H090HC05 , 2H090HC12 , 2H090HC19 , 2H090HD03 , 2H090LA02 , 2H090LA04 , 2H090LA15 , 2H091FA02Y , 2H091FB04 , 2H091FC05 , 2H091FC23 , 2H091FC26 , 2H091FD04 , 2H091GA07 , 2H091GA08 , 2H091GA13 , 2H091GA16 , 2H091LA12 , 2H091LA15 , 2H091LA20 , 2H092JA24 , 2H092JA46 , 2H092JB57 , 2H092JB58 , 2H092KA05 , 2H092KB26 , 2H092MA10 , 2H092MA19 , 2H092MA37 , 2H092NA19 , 2H092NA27 , 2H092PA03 , 2H092PA08

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