カラー撮像素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-303236
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107534
出願日： 2000年10月03日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタのパターンが3μm×3μm以下の微細なパターンであっても、硬膜処理によってパターン形状(立体形状)が崩れることのない、同時に横方向にパターン幅が拡がることのないカラー撮像素子の製造方法を提供すること。【解決手段】複数の受光素子と、各受光素子の光入射側に設けられた顔料を用いたカラー撮像素子の製造方法において、少なくともマゼンタカラーフィルタを設ける工程の現像処理と硬膜処理の間に紫外線露光処理を行うこと。

請求項（抜粋）：

複数の受光素子と、各受光素子の光入射側に設けられた顔料を用いたカラー撮像素子の製造方法において、少なくともマゼンタカラーフィルタを設ける工程の現像処理と硬膜処理の間に紫外線露光処理を行うことを特徴とするカラー撮像素子の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 , G02B 5/22 , G03F 7/004 505 , G03F 7/40 , H01L 27/14

FI (5件)：

G02B 5/20 101 , G02B 5/22 , G03F 7/004 505 , G03F 7/40 , H01L 27/14 D

Fターム (41件)：

2H025AA00 , 2H025AB13 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025CC12 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30 , 2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB07 , 2H048BB08 , 2H048BB47 , 2H048CA04 , 2H048CA14 , 2H048CA19 , 2H048CA23 , 2H096AA00 , 2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096HA03 , 2H096JA04 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118CA40 , 4M118FA06 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GC17 , 4M118GD04

前のページに戻る