特許

J-GLOBAL ID：200903065307808102

ウエーハ面取り用砥石の検査方法とその装置及び該検査方法を用いたウエーハ面取り加工方法

発明者： 下山 繁俊
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-042886
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 面振れ・芯振れ測定、溝位置・形状測定とアンバランス量測定を同一測定機により自動で測定し、検査時間の短縮と精度向上を図るウエーハ面取り用砥石の検査方法と装置を提供する。【解決手段】 位置決め手段によりスピンドル軸11に位置固定された砥石1周面と非接触の状態で対面しながらスピンドル軸軸線と平行な方向に移動する第1の非接触変位センサ15と、スピンドル軸と直交する面内に位置する砥石面と対面配置された第2の非接触変位センサと、スピンドル軸の振動を検知する振動センサ18と、第1の非接触変位センサよりの検知信号に基づいて溝2位置・溝形状、芯振れ等の検査データを、又、第2の非接触変位センサよりの検知信号に基づいて面振れ等の検査データを、更に振動センサよりの検知信号に基づいてアンバランス量を夫々演算する演算手段と、演算手段で夫々演算した演算データを記憶媒体に書込む記録媒体書込み手段とを具えた。

請求項（抜粋）：

ウエーハ面取り形状に対応する溝加工が終了した砥石を、面取り研削装置と同一形状をしたスピンドル軸に取り付けて回転させて、砥石回転位置若しくはスピンドル軸に接触若しくは非接触状態で対面配置した一又は複数のセンサによりスピンドル軸線と平行な面内方向における砥石周面変位、スピンドル軸と直交する面内に位置する砥石面振れ、及びスピンドル軸振動を検知し、該検知データを溝位置・溝形状、芯振れ、面振れ、アンバランス量に対応する演算値に、夫々所定の演算手段により演算した後、該演算データを記憶媒体に取込むことを特徴とする砥石検査方法。

IPC (2件)：

B24B 9/00 601 ,  B24B 49/00

FI (2件)：

B24B 9/00 601 H ,  B24B 49/00

Fターム (18件)：

3C034CA04 ,  3C034CA08 ,  3C034CA09 ,  3C034CA24 ,  3C034DD02 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  3C049AA03 ,  3C049AC02 ,  3C049BA07 ,  3C049BB02 ,  3C049BB03 ,  3C049BB08 ,  3C049BB09 ,  3C049BC02 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03