特許

J-GLOBAL ID：200903065312281627

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者： 番場 敏夫 ,  平野 孝
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036831
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241611
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部及びポリビニルフェノール樹脂1〜50重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び一般式(2)又は一般式(3)で示されるポリビニルフェノール樹脂1〜50重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (7件)：

C08L 77/06 ,  C08G 69/02 ,  C08K 5/23 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027 ,  C08L 25:18

FI (7件)：

C08L 77/06 ,  C08G 69/02 ,  C08K 5/23 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 521 ,  C08L 25:18 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (47件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB17 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J001DA01 ,  4J001DB03 ,  4J001DD02 ,  4J001DD03 ,  4J001DD07 ,  4J001EB34 ,  4J001EB35 ,  4J001EB55 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EC02 ,  4J001EC38 ,  4J001EC44 ,  4J001EC56 ,  4J001EC65 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001JA20 ,  4J001JC08 ,  4J002BC122 ,  4J002CL031 ,  4J002CL071 ,  4J002EQ016 ,  4J002EV246 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-217692   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感光性樹脂組成物および感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-002943   出願人：東レ株式会社
• 感光性樹脂組成物およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-175129   出願人：株式会社関西新技術研究所
• ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-060800   出願人：住友ベークライト株式会社