特許
J-GLOBAL ID:200903065313426688
ダイシング用粘着シート及びそれを用いた被加工物の加工方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
梶崎 弘一
, 尾崎 雄三
, 谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-021027
公開番号(公開出願番号):特開2007-220694
出願日: 2006年01月30日
公開日(公表日): 2007年08月30日
要約:
【課題】 長期の時間が経過した場合でも、良好にピックアップ性を示すダイシング用粘着シート、及びそれを用いた被加工物の加工方法を提供する。【解決手段】 本発明に係るダイシング用粘着シート10は、基材フィルム11上に少なくとも粘着剤層12が設けられており、被加工物をダイシングする際に用いるダイシング用粘着シート10であって、前記粘着剤層12は、アルコキシル基を側鎖に有するモノマーを5重量%以上含み構成されるアクリルポリマーが含有されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基材フィルム上に少なくとも粘着剤層が設けられており、被加工物のダイシングに用いるダイシング用粘着シートであって、
前記粘着剤層には、アルコキシル基を側鎖に有するモノマーを5重量%以上含み構成されるアクリルポリマーが含有されていることを特徴とするダイシング用粘着シート。
IPC (3件):
H01L 21/301
, C09J 7/02
, C09J 133/14
FI (3件):
H01L21/78 M
, C09J7/02 Z
, C09J133/14
Fターム (28件):
4J004AA01
, 4J004AA10
, 4J004AA18
, 4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004BA02
, 4J004CA03
, 4J004CA04
, 4J004CA06
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF061
, 4J040GA04
, 4J040GA05
, 4J040GA07
, 4J040GA25
, 4J040GA26
, 4J040HC10
, 4J040HC22
, 4J040JA09
, 4J040JB07
, 4J040JB09
, 4J040LA06
, 4J040NA20
, 4J040PA23
, 4J040PA42
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
再剥離用粘着シート
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-261963
出願人:日東電工株式会社
審査官引用 (11件)
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