特許
J-GLOBAL ID：200903065324123628
塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-115065
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288209
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 塗料の残量を最小限にするような塗料の送給装置を備えた塗料装置を提供する。【構成】 本塗料装置の設けた送給装置50は、レジストガロンビン10のビン口を下に向け底部を上にして上下逆にして乗せるための円筒形支持筒52と、その支持筒52を支持する支持台54とからなるビン装着台と、ビン10のビン口に取り付けて閉止する閉止栓56と、閉止栓56を貫通する加圧ガス送入管58及び抜き出し管60とから構成されている。加圧ガス送入管は更にビン内で下から上にビンの底部付近にまで延びて、その上端開口62は、ビンを逆さにして支持筒上に置いた時に上部に出来る空間に位置している。抜き出し管は、閉止栓56を貫通し、ビンの最下点の位置に上端開口66を備えている。これにより、ホトレジストの残量を最小限に抑えることができる。
請求項（抜粋）：
液状塗料を送給する送給装置を有し、送給装置から送給された液状塗料を基体上に回転塗布又はスプレー塗布する塗布装置において、送給装置が、液状塗料を収容した塗料ビンのビン口を下に向けて上下逆方向に装着させる装着台と、ビン口を閉止する閉止栓と、閉止栓を下から上に貫通し、装着台に装着された塗料ビン内の上部空間に上端部開口を有する加圧ガス送入管と、閉止栓を下から上に貫通し、貫通した塗料ビン内の最下位置に上端部開口を有する塗料抜き出し管とを備えることを特徴とする塗料装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 5/00 101
, G03F 7/16 502
, B05C 11/08
H01L 21/30 564 C
, B05C 5/00 101
, G03F 7/16 502
, B05C 11/08
