特許
J-GLOBAL ID：200903065331269840
洗浄・エッチング用ウェハ保持具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169252
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112176
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明の洗浄・エッチング保持具によれば、洗浄またはエッチング処理の均一性および安定性が増し、ウェハ処理後の表面品質が安定する。【構成】 ウェハを保持するための少なくとも2本以上の固定棒と1本以上の可動保持棒とを、ウェハを脱落させないように互いの間隔を開けて、かつ一対の対向する側板を離間させるように取り付け、前記固定保持棒のうち少なくとも2本にはウェハを保持するための溝を設け、可動保持棒を前記側板に対して平行な方向に可動したことを特徴とする洗浄・エッチング用ウェハ保持具。
請求項（抜粋）：
ウェハを保持するための少なくとも2本以上の固定保持棒と1本以上の可動保持棒とを、ウェハを脱落させないように互いの間隔を開けて、かつ一対の対向する側板を離間させるように取り付け、前記固定保持棒あるいは可動保持棒のいづれか少なくとも1つを取り外し可能とし、固定保持棒のうち少なくとも2本にはウェハを保持するための溝を設け、可動保持棒を前記側板に対して平行な方向に可動としたことを特徴とする洗浄・エッチング用ウェハ保持具。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/306
