マスフローコントローラ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323410
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142541
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 1台で複数種類の流量ゾーン、例えば100ccm程度と10ccm程度の流量ゾーンに対して精度良く流量制御を行なうことができるマスフローコントローラを提供する。【解決手段】一部がバイパス流路12とセンサ流路14に分離された流体通路2と、この流体通路に介設された流量制御弁8と、前記センサ流路に巻回した巻線抵抗を含むブリッジ回路16と、このブリッジ回路の出力に選択的に異なるゲインをかけてセンサ出力を得る複数のゲイン回路を有するゲイン手段24と、流量変化の態様を特定するために外部より入力される切換信号S3に基づいて前記複数のゲイン回路を選択的に切り換えるゲイン切換手段32と、所定の電圧範囲内の電圧変化に対して流量変化の態様が複数存在するような外部入力信号SG1と前記センサ出力S2とに基づいて前記流量制御弁を制御する弁制御手段22とを備える。これにより、1台で複数種類の流量ゾーン、例えば100ccm程度と10ccm程度の流量ゾーンに対して精度良く流量制御を行なう。

請求項（抜粋）：

一部がバイパス流路とセンサ流路に分離された流体通路と、この流体通路に介設された流量制御弁と、前記センサ流路に巻回した巻線抵抗を含むブリッジ回路と、このブリッジ回路の出力に選択的に異なるゲインをかけてセンサ出力を得る複数のゲイン回路を有するゲイン手段と、流量変化の態様を特定するために外部より入力される切換信号に基づいて前記複数のゲイン回路を選択的に切り換えるゲイン切換手段と、所定の電圧範囲内の電圧変化に対して流量変化の態様が複数存在するような外部入力信号と前記センサ出力とに基づいて前記流量制御弁を制御する弁制御手段とを備えたことを特徴とするマスフローコントローラ。

IPC (3件)：

G05D 7/06 , G01F 1/00 , G01F 1/68

FI (3件)：

G05D 7/06 Z , G01F 1/00 S , G01F 1/68

Fターム (20件)：

2F030CA10 , 2F030CC11 , 2F030CD13 , 2F030CE02 , 2F030CF05 , 2F030CF08 , 2F030CF09 , 2F035EA04 , 2F035EA06 , 2F035EA09 , 5H307BB01 , 5H307DD06 , 5H307EE02 , 5H307EE07 , 5H307EE19 , 5H307FF06 , 5H307GG03 , 5H307GG11 , 5H307GG15 , 5H307HH04

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