特許

J-GLOBAL ID：200903065353818511

ステップ式露光装置

発明者： 染矢 篤志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-089582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045215
出願日： 1991年03月28日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】高精度な位置決めを達成できるステップ式露光装置の提供。【構成】ステージ上に被露光基体を載置し、この被露光基体の複数個所を順次ステップ移動して露光するステップ式露光装置において、?@ステップ移動を、X方向のステップ移動による複数の露光と、Y方向のステップ移動による複数の露光とを順次くり返してらせん状のステップ移動Aで行うようにする。?A位置決め用の光を反射するためのミラーを設け、このミラーは断熱材を介して設置する構成とする。

請求項（抜粋）：

ステージ上に被露光基体を載置し、この被露光基体の複数個所を順次相対的にステップ移動して露光するステップ式露光装置において、前記ステップ移動を、X方向のステップ移動による複数の露光と、Y方向のステップ移動による複数の露光とを順次くり返してらせん状のステップ移動で行うことを特徴とするステップ式露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 301 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-100724
  
• 特公昭59-008408