特許
J-GLOBAL ID：200903065355534383
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317876
公開番号（公開出願番号）：特開平10-159786
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】量産性を向上できるとともにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になるターボ分子ポンプを提供すること。【解決手段】回転体の位置を検出する位置センサ7及び位置センサ7からの信号により磁力をフィードバック制御し前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体2と、位置センサ7からの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路8と磁気軸受駆動回路9、前記回転体に連結したモータ13を駆動するモータ駆動回路12及び磁気軸受駆動回路9に電源を供給する磁気軸受駆動電源10とを備えた電源装置1とを具備したターボ分子ポンプにおいて、電源装置1内の機種間の互換性を制限する回路3の一部又は全部をターボ分子ポンプ本体2側に設けた。
請求項（抜粋）：
回転体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備えた電源装置とを具備したターボ分子ポンプにおいて、前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04D 19/04 A
, F04D 19/04 Z
, F16C 32/04 A
