特許
J-GLOBAL ID：200903065361094247
電子源およびそれを用いた電子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-163208
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354007
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】ショットキー電子源で放出電子エネルギーの単色性の高い電子源の構造およびその電子源を用いた電子線応用装置を提供する。【解決手段】先端を針状にした針状電極と上記針状電極を加熱する発熱体と補給源からなる電子源において、補給源から真空中に放出した材料を針状電極に補給する構造とする。
請求項（抜粋）：
先端を針状にした針状電極と上記針状電極を加熱する発熱体と補給源からなる電子源において、補給源から真空中に放出した材料を針状電極に補給する構造を有することを特徴とする電子源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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