特許

J-GLOBAL ID：200903065362573645

プロービング装置

発明者： 安東 正和 ,  吉田 健嗣
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-128856
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335701
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 インダクタンス成分の極く小さいローブビング装置を提供する。【構成】 弾性を示す導電性金属の細線により構成されるコンタクトピン11を具備し、複数層のコンタクトピン保持板20を具備し、コンタクトピン保持板20のそれぞれには、コンタクトピン11を挿通保持してコンタクトピン屈伸部を形成する貫通孔211 ないし21n がコンタクトピン11に対応して穿設されており、上下方向に配列される貫通孔211 のグループないし21n のグループの内の相隣接するコンタクトピン保持板20の貫通孔同志は上下方向の中心線を共有しておらず、コンタクトピン11をプローブカード130に接続する接続部材を具備するプロービング装置において、接続部材は配線板10より成るプロービング装置。

請求項（抜粋）：

弾性を示す導電性金属の細線により構成されるコンタクトピンを具備し、複数層のコンタクトピン保持板を具備し、コンタクトピン保持板のそれぞれには、コンタクトピンを挿通保持してコンタクトピン屈伸部を形成する貫通孔コンタクトピンに対応して穿設されており、上下方向に配列される貫通孔のグループの内の相隣接するコンタクトピン保持板の貫通孔同志は上下方向の中心線を共有しておらず、コンタクトピンをプローブカードに接続する接続部材を具備するプロービング装置において、接続部材は配線板より成るものであることを特徴とするプロービング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-004971
  
• 特開昭61-004971