特許
J-GLOBAL ID：200903065364782837
ネガ型感放射線性樹脂組成物およびそのパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-137881
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325401
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【構成】放射線照射によりハロゲン化水素酸を生成可能なモノマー骨格を有するアルカリ水溶液可溶性樹脂、発生したハロゲン化水素酸により架橋反応を起こしうる化合物(酸硬化性架橋剤)からなる感放射線性樹脂組成物、ならびにこの2成分を溶媒に溶解し、クロム蒸着板のような基板上に塗布、乾燥させ、放射線を照射、さらに加熱増感処理を施した後、アルカリ水溶液で現像することよりなる基板上に樹脂パターンを得る方法。【効果】本発明のネガ型感放射線性樹脂組成物は、放射線を照射した場合、感度、解像性が極めて高く、得られた樹脂パターンは形状も優れているため、半導体集積回路等の製造に極めて有用である。
請求項（抜粋）：
放射線照射によりハロゲン化水素酸を生成可能な下記一般式(I)【化1】(式中、R1 ,R2 は水素原子又は、ハロゲン原子を示し、R1 ,R2 の少なくとも1つはハロゲン原子である。)で示される、モノマーユニットを有するアルカリ可溶性樹脂及び、発生したハロゲン化水素酸により架橋反応を起こしうる化合物(酸硬化性架橋剤)からなることを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物
IPC (5件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, G03F 7/30
, H01L 21/027
H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 569 F
