キャリア載置台

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295399
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144755
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】カセットキャリア用位置決め部材のサイズ交換を容易かつ迅速にする。【解決手段】サイズの異なるカセットキャリア3の位置決めに際して、カセットキャリア3のサイズが所定以下の場合に、各位置決めプレート15が配設されているアタッチメントトレー14をベースプレート11上に装着して、カセットキャリア3のサイズに応じて各位置決めプレート15をスライドさせるだけで、サイズ変更に伴う作業が完了する。また、カセットキャリア3のサイズが所定以上の場合に、ベースプレート11上の各キネマティックカップリングピン13を、カセットキャリア3の底面側のV溝23とそれぞれ嵌合させるだけで、サイズ変更に伴う作業が完了する。このため、従来のような非常に小さい取付ねじによる作業や現物合わせによる調整作業の必要はなく、クリーンルーム内での作業であっても、カセット用位置決め部材のサイズ交換を容易かつ迅速に行える。

請求項（抜粋）：

複数の基板を収容するカセットキャリアを載置するキャリア載置台において、第1のサイズの基板を収容する第1カセットキャリアを載置するキャリア台と、前記キャリア台上に着脱自在に位置決めされるとともに、前記第1のサイズとは異なる第2のサイズの基板を収容する第2カセットキャリアを載置する板状部材と、を備えたことを特徴とするキャリア載置台。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/66 L

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-119543
特開平3-102849
特開平4-179252

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審査官引用 (5件)

特開昭63-119543
特開平3-102849
特開平4-179252

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