特許
J-GLOBAL ID：200903065369776770
処理液供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128404
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312035
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】処理液を補充タンクに供給するための複数の配管と、処理液を均一状態に攪拌するための攪拌部材を備えた補充タンクに貯められる処理液の酸化防止を図り、処理液の早期劣化の虞をなくした処理液供給装置の提供。【解決手段】処理槽に対して処理液を供給する補充タンク24、25、26を備えた処理液供給装置であって、補充タンク80に処理液を供給するチューブ7、配管84と処理槽に送る供給管86と、液面を検知する下限センサ99と、攪拌する攪拌部材81と、制御装置100とを備え、処理液Rの比重より小さい比重を有し、かつ液面を略覆うための個数分のフロート部材90を備える。
請求項（抜粋）：
露光後の感光材料への各処理を行なう各処理液を貯めた処理槽を個別に備え、前記処理槽に対して前記処理液を供給する補充タンクを備えた処理液供給装置であって、前記補充タンクに対して前記処理液を供給し、かつ前記処理槽に送る供給手段と、前記補充タンク内の前記処理液の液面を検知する検知手段と、前記補充タンク内の前記処理液を均一状態に攪拌するための攪拌部材を備えた攪拌手段と、前記供給手段と前記検知手段と前記攪拌手段とに接続され、前記液面が前記攪拌部材より上方に位置するときに前記攪拌を指示する制御手段と、前記処理液の比重より小さい比重を有し、かつ前記液面を略覆うための個数分のフロート部材とを備えることを特徴とする処理液供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2H098BA15
, 2H098DA06
, 2H098DA28
, 2H098EA05
, 2H112EA02
, 2H112EA15
