特許

J-GLOBAL ID：200903065374151240

静電偏向器

発明者： 永山 貴久 ,  山本 雄一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115470
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 電極表面に形成した被膜の絶縁特性を劣化させることなく電極に対する充分な加熱処理を行うことが困難であり、また無人運転時に電極間で発生する放電に対し対処する手段がないなどの課題があった。【解決手段】 対向する一対の電極の内の少なくとも一方の電極表面に耐熱温度が200°Cを越える絶縁被覆を形成する。

請求項（抜粋）：

対向する一対の電極間に印加する電圧を調整して前記電極間に印加する電圧を目標電圧値まで上昇させ、前記電極間に電界を発生させる電圧印加手段を備え、前記電極間に発生した電界により荷電粒子を偏向させる静電偏向器において、前記電極のうちの少なくとも一方の電極表面に耐熱温度が200°Cを越える絶縁被覆を形成したことを特徴とする静電偏向器。

IPC (3件)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/248

FI (4件)：

H01J 37/147 Z ,  H01J 37/147 D ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/248 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-110600
  
• 特開昭63-173325
  
• 特開昭56-084855