特許

J-GLOBAL ID：200903065376977480

マイクロポンプ及びその製造方法

発明者： 青山 拓 ,  濱 辰男
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120733
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312153
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 マイクロポンプの流路における気泡発生を防止し、定量性に優れたマイクロポンプ及びその製造方法を提供する。【構成】 流路を表面グラフト処理する。該グラフト処理はマイクロポンプの組立前あるいは組立後のいずれかの工程で達成される。【効果】 流路で気泡が発せず、定量性に優れたマイクロポンプを得た。その製造方法は、目的に応じて工程を選択できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも入口と出口を有しかつ一部が振動板である密閉空間、振動板を駆動する圧電素子、これらを格納する少なくとも入口接続部と出口接続部を有するケース、及び前記接続部に接続されたチューブ等から成る流体輸送用ダイヤフラム型マイクロポンプにおいて、流体と接する流路部の全部もしくは一部が表面グラフト処理されていることを特徴とするマイクロポンプ。