特許
J-GLOBAL ID：200903065379362508
光導波路型変位センサおよびそれに用いる半球状レンズ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-072868
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271209
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 細い径の穴の側面の表面粗さや形状を測定することができる光導波路型変位センサを提供する。【構成】 長手方向の両端面のうち少なくとも一方の端面を該長手方向に対して斜面とし該斜面に測定光用入出力端を形成した光導波路基板1と、光源から出力される光源光を該光導波路基板1に導く光ファイバF1と、該光導波路基板1から出力される干渉信号光を受光装置に導く光ファイバF2と、該光導波路基板1表面に設けられた参照光及び/あるいは測定光を変調するための電極6に変調用電気信号を印加するための電送線7とを備えた光導波路型変位センサにおいて、光導波路基板の長手方向と垂直な方向に測定光を折り返し、かつ集光するための半球状レンズ12を備えている。
請求項（抜粋）：
長手方向の両端面のうち少なくとも一方の端面を該長手方向に対して斜面とし該斜面に測定光用入出力端を形成した光導波路基板と、光源から出力される光源光を該光導波路基板に導く光ファイバと、該光導波路基板から出力される干渉信号光を受光装置に導く光ファイバと、該光導波路基板表面に設けられた参照光及び/あるいは測定光を変調するための変調用電極に変調用電気信号を印加するための電送線とを備えた光導波路型変位センサにおいて、光導波路基板の長手方向と垂直な方向に測定光を折り返し、かつ集光するための半球状レンズを備えたことを特徴とする光導波路型変位センサ。
IPC (5件)：
G01B 9/02
, G01B 11/00
, G01B 11/24
, G01B 11/30 102
, G02B 3/00
G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G01B 11/24 D
, G01B 11/30 102 B
, G02B 3/00 B
