特許
J-GLOBAL ID：200903065380715902
基板周辺部露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-148586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338453
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 液晶パネル用ガラス基板の周辺部及び側面の不要のポジ型フォトレジストを完全に露光できるようにして、不要のフォトレジストが基板上に残されることによる発塵を防止する。【構成】 基板中央の回路部分の露光の終了した液晶パネル用ガラス基板4をステージ3上に載置する。ステージ3の両側に配置された固定アーム5に固定された周辺露光用光源1により紫外線を垂直に放射させる。ステージ3を矢印方向に移動させて、ガラス基板表面周辺部を光源1の直接光により露光し、ガラス基板側面を反射ミラー2aの反射光により露光する。同様にして、ガラス基板4の他の側の周辺部も露光してから現像し、露光部分のフォトレジストを除去する。
請求項（抜粋）：
概略四辺形の基板を保持するステージと、前記基板の周辺部上に位置し該基板の周辺部およびその外側を基板面に垂直な光にて照射する光源と、基板の周辺部に位置し前記光源の光を前記基板の側面に向けて反射するミラーと、を備える基板周辺部露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 101
, G03F 7/20
