特許
J-GLOBAL ID：200903065404207679
軟X線顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-304131
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230200
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 可視光による顕微鏡観察が可能で、かつコントラストの少ない生物試料でも可視光による観察対象物の位置合わせができ、試料への必要以上の軟X線被爆を抑える。【構成】 軟X線顕微鏡に、例えば、可視光源11、その光を試料4 へ照射するため軟X線の光軸に挿脱可能なプリズム16及びコンデンサレンズ2 を含む照明手段、試料4 からの光を所定の位置に収束させる可視光用対物レンズ5 及び挿脱可能なプリズム14による可視光観察系が組み合わせる。更に、コンデンサレンズ2 の瞳の可視光の光路に挿脱自在に円形スリット板16と、対物レンズ5 の瞳の可視光の光路に挿脱自在に位相板17を設ける。円形スリット16及び位相板17を可視光の光路に挿入し、位相差顕微鏡を構成する。生物試料の僅かな屈折率の差等でコントラストがつく。試料への必要以上の軟X線被爆も防げる。
請求項（抜粋）：
軟X線源から発した軟X線を観察対象物に照射するコンデンサレンズと、前記観察対象物からの軟X線を所定の位置に収束させる対物レンズとを備える軟X線顕微鏡において、可視光源と、該可視光源からの光を、前記観察対象物に照射するために前記軟X線と実質的に同じ光軸に沿って導く照明手段と、前記観察対象物からの光を所定の位置に収束させる可視光用対物レンズと、前記可視光源と前記照明手段と前記可視光用対物レンズを有する可視光観察系において、前記観察対象物の透過光の間に生じた位相差を像面にて明暗の差に変換するようになす位相差観察手段と、を備えることを特徴とする軟X線顕微鏡。
引用特許：
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