特許

J-GLOBAL ID：200903065404930753

流体制御装置

発明者： 中沢 正彦 ,  塚田 和夫 ,  山路 道雄 ,  田中 久士
出願人/特許権者： 日本アエラ株式会社 ,  株式会社フジキン
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186580
公開番号（公開出願番号）：特開平10-220698
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 マスフローコントローラ等の調整器の取付け・取外し作業が容易である流体制御装置を提供する。【解決手段】 マスフローコントローラ5 の張出部9,10に接続される接続部材4,16に、接続部材4,16を左右両側から挟むように門型金具21が取り付けられている。門型金具21に、シール部18の真上からマスフローコントローラ5 の張出部9,10を接続部材4,16に押圧する押圧体22が設けられている。

請求項（抜粋）：

流量または圧力を調整する調整器(5) と、調整器(5) の下端部前後両面に設けられた調整器張出部(9)(10) と、調整器張出部(9)(10) の下面(9a)(10a) に突き合わされた接続部材(4)(16)(17)(36)(37) とを備えており、調整器張出部(9)(10) と接続部材(4)(16)(17)(36)(37) とがシール部(18)を介して着脱自在に接続されている流体制御装置において、接続部材(4)(16)(17)(36)(37) に、調整器張出部(9)(10) および接続部材(4)(16)(17)(36)(37) を左右両側から挟む左右側壁(21a)(51a)を有する門型金具(21)(51)が取り付けられ、門型金具(21)(51)に、調整器張出部(9)(10) を接続部材(4)(16)(17)(36)(37) にシール部(18)の真上から押圧する押圧体(22)(53)が設けられていることを特徴とする流体制御装置。