特許
J-GLOBAL ID：200903065406376630
走査型投影光学系及び投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362741
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176741
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 高い解像度を有し、実用的な大きさの走査型投影光学系及びそのような投影光学系を備える投影露光装置を提供する。【解決手段】 第1面101と第2面122を走査する走査型投影光学系10において、第1面101の中間像IMを形成する第1結像光学系100と、中間像IMを第2面122上に形成する第2結像光学系120と、中間像IMの近傍に配置され、第1結像光学系100からの光を第2結像光学系120へ導く光路偏向部材111と、光路偏向部材111と第2面122との間の光路中に偏光面を変化させる第1偏光手段121とを備え、第1結像光学系100は、屈折光学系G1、G2と凹面鏡102とを含み、第1結像光学系100は、前記結像に該第1結像光学系100の光軸からはずれた露光領域の光を用いるように構成されている走査型投影光学系。第2面122への光を円偏光にすることができる。また凹面鏡102を含むので収差を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
第1面と第2面を相対的に走査して、前記第1面の像を前記第2面に結像させる走査型投影光学系において;第1面の中間像を形成する第1結像光学系と;前記中間像を第2面上に形成する第2結像光学系と;前記中間像の近傍に配置され、第1結像光学系からの光を前記第2結像光学系へ導く光路偏向部材と;前記光路偏向部材と前記第2面との間の光路中に偏光面を変化させる第1偏光手段とを備え;前記第1結像光学系は、屈折光学系と凹面鏡とを含み;前記第1結像光学系は、前記結像に該第1結像光学系の光軸からはずれた露光領域の光を用いるように構成されたことを特徴とする;走査型投影光学系。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 5/30
, G02B 13/24
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G02B 5/30
, G02B 13/24
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
