特許
J-GLOBAL ID:200903065407933486

酸素濃度センサ及びそのトラップ層の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-253474
公開番号(公開出願番号):特開平7-110315
出願日: 1993年10月08日
公開日(公表日): 1995年04月25日
要約:
【要約】【目的】 トラップ層による排気ガス成分の捕捉率を高め、剥離をも防止すると同時に、酸素分子の流通性も良好にする。トラップ層の形成を容易に行う方法を提供する。【構成】 細粒アルミナにより形成されたトラップ層5を有する酸素濃度センサであって、トラップ層5に多数の気泡5aが形成され、気泡5aの体積がアルミナ粒子の体積よりも大きい。トラップ層5は細粒アルミナをディップした素子1に電圧を印加して酸素ポンプ作用によりアルミナディップ内に酸素を送り込み、アルミナディップを焼成して形成される。トラップ層5の表面に多数の気泡5aが露出して表面あらさが粗くなり、同表面に付着物Aが連続層として形成されにくい。アルミナ粒子の粒径が小さいため、排気ガスとの接触面積が増加し、排気ガス成分の捕捉が良好になる。小さい粒径を有するアルミナ粒子間で結合されるため、トラップ層5の結合強度が高くなり、トラップ層5が剥離しにくい。
請求項(抜粋):
細粒アルミナ(Al2 O3 )により形成したトラップ層を有する酸素濃度センサにおいて、前記トラップ層にはアルミナ粒子の体積よりも大きな体積を有する気泡を多数形成したことを特徴とする酸素濃度センサ。
IPC (2件):
G01N 27/409 ,  G01N 27/12

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