特許
J-GLOBAL ID：200903065410988631
マイクロバルブ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-037793
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240371
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 長期安定性にすぐれ,簡単な構成で複数のバルブを同時に駆動することが可能なマイクロバルブを提供する。【構成】 一方の面に凹部が形成され,該凹部と他方の面でダイアフラムが形成された第1基板と,前記ダイアフラム上に固定された少なくとも一つのリング状のガスケットと,前記第1基板のダイアフラムが形成された側に所定の間隙を有して気密に配置され,前記ガスケットのほぼ中心に対向する位置に形成された第1貫通孔及びガスケットの外周に対向する位置に形成された少なくとも一つの第2貫通穴を有する第2基板と,前記凹部を覆って気密に配置された第3基板とを有し,前記凹部に加熱(若しくは冷却)により膨張(若しくは収縮)する部材を封入するとともに,該部材の加熱(若しくは冷却)手段を設ける。
請求項（抜粋）：
一方の面に凹部が形成され,該凹部と他方の面でダイアフラムが形成された第1基板と,前記ダイアフラム上に固定された少なくとも一つのリング状のガスケットと,前記第1基板のダイアフラムが形成された側に所定の間隙を有して気密に配置され,前記ガスケットのほぼ中心に対向する位置に形成された第1貫通孔及びガスケットの外周に対向する位置に形成された少なくとも一つの第2貫通穴を有する第2基板と,前記凹部を覆って気密に配置された第3基板とを有し,前記凹部に加熱(若しくは冷却)により膨張(若しくは収縮)する部材を封入するとともに,該部材の加熱(若しくは冷却)手段を設けたことを特徴とするマイクロバルブ。
IPC (3件)：
F16K 31/68
, F03G 7/06
, G01N 30/26
