特許
J-GLOBAL ID：200903065411857280
水晶振動子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-201891
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017777
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：
【要約】【目的】エッチング速度差による不連続面を消失した直接接合の水晶振動子の製造方法を提供する。【構成】直接接合によって2枚の水晶ウェハを貼り合わせて一体化水晶ウェハを形成し、前記一体化水晶ウェハの両主面側からのエッチングによって個々の例えば音叉状水晶片に外形加工した水晶振動子の製造方法において、前記水晶ウェハの一方の接合面における表面層のエッチング領域に耐エッチング性の金属膜を設けた製造方法とする。
請求項（抜粋）：
【請求項1】直接接合によって2枚の水晶ウェハを貼り合わせて一体化水晶ウェハを形成し、前記一体化水晶ウェハの両主面側からのエッチングによって個々の水晶片に外形加工した水晶振動子の製造方法において、前記水晶ウェハの一方の接合面における表面層のエッチング領域に耐エッチング性の金属膜を設けたことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 Z
, H01L 41/18 101 A
