特許

J-GLOBAL ID：200903065413696089

光学的検査装置

発明者： 南郷 脩史
出願人/特許権者： ラトツクシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190043
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045293
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 受光信号からノイズ信号を効率的に除去する。【構成】 試料100にレーザ光を横方向から照射し上方に放出されるスリット上の光をTVカメラ20によって受光する。試料100がレーザ光と直交する方向に移動する。そして、移動に伴い得られるスリット上の放射光を受光位置毎に加算してノイズ成分を得る。すなわち、受光位置毎のノイズは試料100の移動によっては変動しないはずであり、上述の加算結果によりノイズが検出できる。そして、このノイズを検出結果から除去して試料の構造の変化に伴う情報を得る。

請求項（抜粋）：

被検査試料に光線を照射する照射手段と、この照射手段により照射された光線に起因して被検査試料から放出される光をスリット状光として受光し、このスリット状光の受光位置における輝度を表わす電気信号に変換するセンサと、このセンサで得られた電気信号を処理し、スリット状光のスリット方向の受光位置に対応する輝度データを算出する輝度算出手段と、上記被検査試料を上記スリット状光の受光面に直角な方向に移動させる移動手段と、上記輝度算出手段によって得られた輝度データをその受光位置毎に上記移動手段による移動方向全域にわたって加算し、輝度データにおけるスリット方向のノイズ特性を求めるノイズ検出手段と、上記ノイズ検出手段において検出されたノイズ特性に基づいて、上記輝度データを補正する補正手段と、を有することを特徴とする光学的検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-119446
  
• 特開昭61-283853