針状電極とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057343
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255555
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】本発明は、真空中或いは固体・固体間の量子力学的なトンネリング現象に利用される針状電極とその製造方法に関し、安定で大面積の素子にも適用可能な電界放射等に用いる針状電極を提供する。【構成】基板上の金属酸化物導電体の上に少なくともシリコン針状構造を有し、そのシリコン針状構造の先端部に金属が被覆されてなる構造の針状電極。

請求項（抜粋）：

基板上の金属酸化物導電体の上に少なくともシリコン針状構造を有し、該シリコン針状構造の先端部に金属が被覆されてなることを特徴とする針状電極。

IPC (5件)：

H01J 1/30 , G01N 37/00 , G01R 1/06 , H01J 9/02 , C23C 16/24

FI (5件)：

H01J 1/30 B , G01N 37/00 A , G01R 1/06 F , H01J 9/02 B , C23C 16/24

前のページに戻る