特許

J-GLOBAL ID：200903065427635937

静電気除去用ロボットハンド

発明者： 木全 一夫 ,  犬飼 泰弘
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-252356
公開番号（公開出願番号）：特開2000-082732
出願日： 1998年09月07日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】 薄型基板を搬送する搬送ロボットのハンドに静電気除去機能をもたせることにより、静電気障害の発生を防止すること。【解決手段】 ハンド1の保持部4、4の上面及び下面には、複数のイオン化気体噴出孔7が形成されている。これらのイオン化気体噴出孔7は、複数系統に分割されており、各系統毎に配管8及びイオン化気体を発生するイオナイザー9が設けられる。イオナイザー9はハンド1の基部3に設けられ、+電極と-電極間に高電圧を印加し放電によりイオン化気体を発生するよう構成される。イオナイザー9には、発生したイオン化気体をイオン化気体噴出孔7まで圧送するための圧送用気体が流入され、イオン化気体は圧送用気体によってイオン化気体噴出孔7まで圧送され、イオン化気体噴出孔7から勢いをもって噴き出される。

請求項（抜粋）：

イオン化気体噴出孔を有し、該イオン化気体噴出孔からイオン化気体が噴き出されることを特徴とする静電気除去用ロボットハンド。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/06 N ,  B25J 15/06 M

Fターム (12件)：

3F061AA01 ,  3F061BA03 ,  3F061BE05 ,  3F061BF00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5F031CA05 ,  5F031GA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031NA04 ,  5F031PA21