ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022626
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229206
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】高感度かつ高解像度であり、樹脂を硬化した後のパターン側壁の角度が高いポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】ポリアミド樹脂(A)100重量部と、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部と、一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F 7/037 , C08F 2/44 , C08F299/02 , C08K 5/13 , C08K 5/23 , C08L 77/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 601 , G03F 7/075 521 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (11件)：

G03F 7/037 , C08F 2/44 B , C08F299/02 , C08K 5/13 , C08K 5/23 , C08L 77/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 601 , G03F 7/075 521 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (37件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB23 , 2H025CB26 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA00 , 2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 4J002CL031 , 4J002CL071 , 4J002EJ037 , 4J002EQ016 , 4J002EX076 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J011PA33 , 4J011PA38 , 4J011PA96 , 4J011PC08 , 4J027AD03 , 4J027CA25 , 4J027CA29 , 4J027CC03 , 4J027CD10

引用特許：

審査官引用 (1件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096910 出願人：旭化成工業株式会社

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