ガスセンサ、及び接触燃焼式ガスセンサ並びに製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161520
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006810
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】可燃性ガスの燃焼に寄与する熱伝導層の表面積を実効的に拡大することができる結果、大気中を浮遊するゴミや油粒子等の浮遊汚染粒子が熱伝導層の表面に付着した場合であっても、ガス検知感度の急激な劣化が発生する現象を回避して汚染耐性を向上できる結果、長期的に高い安定性、再現性および信頼性を有するガスセンサを実現すること。【解決手段】基板12上にガス検知素子30が設けられ、ガス検知素子30のセンサ面に接触した所定種類のガスを検知するガスセンサであって、センサ面が、メサ溝またはV溝124が複数集積されて成るV溝状コルゲート表面構造1241またはメサ状コルゲート表面構造を、ガスが接触する界面として有する。

請求項（抜粋）：

基板上にガス検知素子が設けられ、ガス検知素子のセンサ面に接触した所定種類のガスを検知するガスセンサであって、前記センサ面は、V溝が複数集積されて成るV溝状コルゲート表面構造を、ガスが接触する界面として有する、ことを特徴とするガスセンサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-172258
特開昭57-172258

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