TiO2 作製用原料液の製造方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015777
公開番号（公開出願番号）：特開平10-212121
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】種々のTiO2 成膜法に適した原料を提供して、TiO2 作製作業の応用範囲を大きくし、TiO2 膜作製までの溶液の損失を低減するとともに、TiO2 膜の作製時まで加水分解によるTi(OH)4 の沈澱を防いで、Ti原料の有効利用を図る。【解決手段】 Tiアルコキシド系溶液にH2O2を加え、グラインダ容器の内部に収納して、Ti(OH)4 の結晶析出が生じた場合には、Ti(OH)4 の沈澱物に圧接力及び剪断力を加えて、Ti(OH)4 をすり潰し、TiO成分への変換を図り、混合液に溶解したTiOを被処理物に対して供給する。

請求項（抜粋）：