特許
J-GLOBAL ID：200903065451060422
レーザ走査顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平戸 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017616
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218682
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】LSIチップなどの微細な製品の表面形状の計測や観察などを行う場合に使用するレーザ走査顕微鏡に関し、レーザ光の試料に対する入射光軸方向の結像位置と試料との距離を変えるにあたり、光学系又は試料の機械的移動を不要とし、試料の表面形状の計測の高速化を図る。【解決手段】レーザ光23を偏向する手段として音響光学偏光子24を設け、音響光学偏光子24に周波数が低から高に線形的に時間変化する駆動信号を印加し、1次回折光27の偏向角を小から大に線形的に時間変化させ、1次回折光27の試料20に対する入射光軸方向の結像位置を一定として1次回折光27で試料20の表面を走査し、試料20の表面を走査するごとに駆動信号の周波数の時間変化率を変化させて走査を繰り返す。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、前記レーザ光源から出力されるレーザ光を偏向する偏向手段と、前記偏向手段から出力されるレーザ光を試料の表面上にスポット状に絞り込む光学系とを備えるレーザ走査顕微鏡において、前記偏向手段として、前記レーザ光源から出力されるレーザ光が入射される音響光学偏向子と、周波数が時間変化する駆動信号を前記音響光学偏向子に与えると共に、前記駆動信号の周波数の時間変化率を変化させることができる音響光学偏向子駆動手段とを備えていることを特徴とするレーザ走査顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01B 11/30 Z
