特許
J-GLOBAL ID:200903065459932011

四ほう酸リチウム単結晶の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 亮一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-080427
公開番号(公開出願番号):特開平5-246795
出願日: 1992年03月02日
公開日(公表日): 1993年09月24日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は 歪のないことからSAWデバイス用として有用とされる四ほう酸リチウム単結晶の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による四ほう酸リチウム単結晶の製造方法は、ブリッジマン法で融液から四ほう酸リチウム単結晶を製造する方法において、結晶育成後に結晶の外周面および/または下方部分を取り除くと共に、この取り除いた面をエッチングすることを特徴とするものである。
請求項(抜粋):
ブリッジマン法で四ほう酸リチウム単結晶を製造する方法において、結晶育成後に結晶の外周面および/または下方部分を取り除くと共に、この取り除いた面をエッチングすることを特徴とする四ほう酸リチウム単結晶の製造方法。
IPC (3件):
C30B 29/10 ,  C30B 33/08 ,  H01L 21/302
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特公昭63-012986
  • 特公平2-006894

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