特許

J-GLOBAL ID：200903065466813419

アニール装置及び記録媒体用ディスクの製造方法

発明者： 福島 義仁 ,  中村 祐子 ,  根本 淳一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067030
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268418
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 記録媒体用ディスクを三次元的に収納し、空間を有効に使用でき、形状的に優れた特性を持つ記録媒体用ディスクを製造することができるアニール措置を提供する。また、記録媒体用ディスクを三次元的に収納し、空間を有効に使用でき、形状的に優れた特性を持つ記録媒体用ディスクを製造することができる製造方法を提供する。【解決手段】 所定の形状に成形された複数の記録媒体用ディスクを、個々の記録媒体用ディスクには自重以外の荷重が加わらないように、スペーサを介してポールに積載して保持する。また、記録媒体用ディスクに冷却処理を施す際、記録媒体用ディスクを回転させる。

請求項（抜粋）：

記録媒体用ディスクに対してアニール処理を施すアニール装置であって、所定の形状に成形された複数の記録媒体用ディスクを、個々の記録媒体用ディスクには自重以外の荷重が加わらないように、スペーサを介してポールに積載して保持するディスク保持手段と、上記ディスク保持手段によって保持された複数の記録媒体用ディスクを加熱してアニール処理を施すアニール手段とを備えることを特徴とするアニール装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 521 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

G11B 7/26 521 ,  H01L 21/68 V

Fターム (10件)：

5D121AA02 ,  5D121GG08 ,  5D121GG28 ,  5F031CA01 ,  5F031DA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031GA51 ,  5F031GA53 ,  5F031MA30