特許

J-GLOBAL ID：200903065477268072

センサ

発明者： ヨヘン フランツ ,  オリヴァー コーン ,  フランク ヘニング ,  マティアス マウテ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-579815
公開番号（公開出願番号）：特表2004-531714
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

センサであって、該センサのセンサ構造体が、マイクロセンサの構成エレメントにおいて実施されており、かつ該構成エレメントの固定された基板に対して可動な部分を有しており、該可動な部分が、少なくとも、1つの片持ちばり式の振動質量体(1)を有しており、少なくとも1つのばね(2)を備えたばね装置を有しており、前記振動質量体(1)がばね装置を介して基板に結合されており、ばね装置若しくは振動質量体(1)の変位を少なくとも一方向で制限するための過負荷防止装置を有しており、ばね装置若しくは振動質量体(1)の変位を検出するための手段を有している、センサのために、ストッパ力が低減され、これにより貝殻状欠落部及びこれに基づくセンサ構造体の損傷並びに粒子形成が防止されるような構造的な手段が提案される。このために過負荷防止装置として、本発明によればセンサ構造体の少なくとも1つの可動な部分のための少なくとも1つの面状のストッパが設けられている。これに対して択一的又は補足的に、過負荷防止装置として、本発明によればセンサ構造体の少なくとも一部のための少なくとも1つのばね弾性的なストッパ(7)が設けられている。

請求項（抜粋）：

センサであって、該センサのセンサ構造体が、マイクロセンサの構成エレメントにおいて実施されており、かつ該構成エレメントの固定された基板に対して可動な部分を有しており、該可動な部分が、少なくとも、 1つの片持ちばり式の振動質量体(1)を有しており、 少なくとも1つのばね(2)を備えたばね装置を有しており、前記振動質量体(1)がばね装置を介して基板に結合されており、 ばね装置若しくは振動質量体(1)の変位を、少なくとも一方向で制限するための過負荷防止装置を有しており、 ばね装置若しくは振動質量体(1)の変位を検出するための手段を有している、 形式のものにおいて、過負荷防止装置として、センサ構造体の少なくとも1つの可動な部分のために少なくとも1つの面状のストッパ(3)が設けられてることを特徴とする、センサ。

IPC (3件)：

G01P15/02 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

FI (3件)：

G01P15/02 A ,  B81B3/00 ,  H01L29/84 Z

Fターム (6件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA24 ,  4M112FA07

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201379   出願人：株式会社村田製作所
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-183784   出願人：セイコー電子工業株式会社
• マイクロマシンの構成エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-109819   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-304493   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭64-018063