ウエハのブレーキング・延伸装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322641
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162889
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】ウエハの状態に係わらず、一台の装置でブレーキング・延伸ができ、その結果、延伸状態を維持するためのリングも1種類で済ますことができるウエハのブレーキング・延伸装置及びブレーキング・延伸方法を提供する。【解決手段】フルカットダイシングあるいはハーフカットダイシングされたウエハ9を拡張ステージ2上でブレーク・延伸するものであって、拡張ステージ2の上面に凹部13を設けるとともに、この凹部13内に別途用意される硬質アダプター21と弾性アダプター22を択一的に装着できるようにした。

請求項（抜粋）：

フルカットダイシングあるいはハーフカットダイシングされたウエハを拡張ステージ上でブレーク・延伸するウエハのブレーキング・延伸装置において、前記拡張ステージの上面に設けた凹部と、前記凹部に着脱自在としたアダプター、とからなることを特徴とするウエハのブレーキング・延伸装置。

FI (3件)：

H01L 21/78 T , H01L 21/78 V , H01L 21/78 X

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