特許
J-GLOBAL ID：200903065484648840
表面欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228680
公開番号（公開出願番号）：特開平6-076069
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 少ない学習データを用いて表面欠陥検査のアルゴリズムを自動生成して検査対象の表面欠陥を自動的に判定する。【構成】 撮像手段10によって検査部位の疵が画像の明暗として現れるように検査対象を撮像し、検査部位の画像の明暗の統計情報または疵の大きさに関する情報あるいはその両者を特徴量抽出手段14によって抽出し、ニューラルネットワーク16に抽出された画像の情報を入力し検査員の検査結果を教師データとして学習することにより検査対象の欠陥を自動的に判定する。
請求項（抜粋）：
検査部位の疵が画像の明暗として現れるように検査対象を撮像された検査部位の画像の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、ニューラルネットワークを備え、抽出された画像の特徴量をニューラルネットワークに入力し検査員の検査結果を教師データとして学習することにより検査対象の欠陥を自動的に判定する欠陥判定手段と、を含む表面欠陥検出装置。
IPC (2件)：
G06F 15/70 465
, G06F 15/18
