特許

J-GLOBAL ID：200903065489215829

質量流量計

発明者： 田中 誠 ,  小野 弘文
出願人/特許権者： 日立金属株式会社 ,  株式会社リンテック
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147539
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035590
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 定温度差回路を備えた質量流量計において外部の熱的影響を排除して、ゼロ点やスパンの変動がなく測定精度が良好な流量流量計を提供すること。【構成】 本発明は、流体が流れるセンサ管の上流側と下流側に前記流体の温度に応じて抵抗値が変化する一対の感熱コイルを設け、該感熱コイルと温度検出抵抗及び温度差設定抵抗をそれぞれ含む定温度差回路を独立して設け、該定温度差回路によって質量流量を測定する質量流量計において、前記上流側の温度検出抵抗は実質的にセンサ管の入口付近の温度を検出し、かつ前記下流側の温度検出抵抗は実質的にセンサ管の出口付近の温度を検出するようにしたものである。この質量流量計は質量流量計本体と、センサ管を取付けると共にこれを前記本体に固定する取付台を有し、センサ管の入口付近においてセンサ管、取付台又は本体のいずれかに上流側の温度検出抵抗を設け、かつセンサ管の出口付近においてセンサ管、取付台又は本体のいずれかに下流側の温度検出抵抗を設けることで達成できる。

請求項（抜粋）：

流体が流れるセンサ管の上流側と下流側に前記流体の温度に応じて抵抗値が変化する一対の感熱コイルを設け、該感熱コイルと温度検出抵抗及び温度差設定抵抗をそれぞれ含む定温度差回路を独立して設け、該定温度差回路によって質量流量を測定する質量流量計において、前記上流側の温度検出抵抗は実質的にセンサ管の入口付近の温度を検出し、かつ前記下流側の温度検出抵抗は実質的にセンサ管の出口付近の温度を検出することを特徴とする質量流量計。