特許

J-GLOBAL ID：200903065494715040

照明光学系

発明者： 鹿島伸悟
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-143302
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334701
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 光量を損失することなく、共焦点型レーザ走査顕微鏡用には光学素子を変換することなく対物レンズの瞳径に応じた輪帯照明が得られる照明光学系。【構成】 コリメートされたレーザ光を所定角度で円錐状に拡がる光束に変換する同心円状で等間隔の回折格子1と、その円錐状に拡がる光束を同心状の平行光若しくは収束光に成形する成形光学系2とからなる。回折格子1としては、矩形状位相回折格子であり、その位相差Δが0.8πより大きく、1.2πより小さいことが望ましい。成形光学系2としては、例えば、アキシコンプリズム、両面に角度を持った円錐プリズムを設けたもの、ブレーズ化された同心円状で等間隔の格子、収束レンズを用いる。

請求項（抜粋）：

コリメートされたレーザ光を所定角度で円錐状に拡がる光束に変換する手段と、その円錐状に拡がる光束を同心状の平行光若しくは収束光に成形する成形光学系とからなる照明光学系において、前記光束変換手段として、同心円状で等間隔の回折格子を用いたことを特徴とする照明光学系。