特許
J-GLOBAL ID:200903065510080009

塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-001876
公開番号(公開出願番号):特開平5-185003
出願日: 1992年01月09日
公開日(公表日): 1993年07月27日
要約:
【要約】【目的】 自動的に保守管理が可能で、安定した塗布状態を得ることのできる塗布装置を提供することを目的とする。【構成】 塗布ノズル2を有し、基板6上の所定位置に移動して接着剤1を塗布する塗布手段と、前記接着剤1を捨てる塗布剤捨て口7と、塗布ノズル2先端をクリーニングするクリーニング部8とを備え、前記接着剤1を捨てる時期および塗布ノズル2の先端をクリーニングする時期を、演算部9で判断して固まりかける接着剤1を廃棄し、塗布ノズル2の先端をクリーニングする構成とする。
請求項(抜粋):
塗布口を有し、基板上の所定位置に移動して塗布剤を塗布する塗布手段と、塗布剤を廃棄する廃棄手段と、塗布口先端をクリーニングするクリーニング手段とを備え、前記塗布剤の廃棄手段および塗布口先端のクリーニング手段の作動時期を演算部で判断して作動させる構成とした塗布装置。
IPC (2件):
B05C 5/00 101 ,  H05K 3/34
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-199896
  • 特開平2-303570

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