特許

J-GLOBAL ID：200903065511564727

光導波路

発明者： 徳田 敏
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-221461
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060927
出願日： 1991年09月02日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 多数モードの光を伝送でき、しかも、伝送効率が高い平面型の光導波路を提供する。【構成】 光導波路を構成する薄膜を、成膜途中での条件変更によって、膜厚方向の中央部位における屈折率が高く、その上下部位が低い構造としている。これにより、例えばグレーデッド多モード型などの構造をもつ平面型の光導波路を実現可能としている。

請求項（抜粋）：

基板上に、この基板よりも屈折率が大きい薄膜を形成した構造の光導波路において、上記薄膜は、成膜途中での成膜条件の変更によって、膜厚方向における屈折率が、その膜厚方向の中央部位が高くその上下部位が低い構造に形成されていることを特徴とする光導波路。