特許
J-GLOBAL ID：200903065523220080
沿面放電型紫外線素子とそれを用いた流体処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
斎藤 侑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-240019
公開番号（公開出願番号）：特開平7-096278
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 高周波沿面放電によって形成される平面又は曲面状の紫外線光源の全面から紫外線を被紫外線処理物に向って強力に照射する。【構成】 誘電体層を介して線状放電極と面状誘導電極を一体的に形成し、その線状放電極側に、紫外線発生用ガスの層を距てて石英板で形成する紫外線を透過する紫外線照射窓を形成する。
請求項（抜粋）：
誘電体層の肉厚の少なくとも一部分を介して線状放電極と面状誘導電極を互いに対面して一体的に設け、該誘電体層の高周波沿面放電発生区域側に紫外線発生用ガス層を介して石英板で形成する紫外線照射窓を設けることを特徴とする沿面放電型紫外線素子
IPC (2件)：
引用特許：
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