特許

J-GLOBAL ID：200903065525597423

パルス放電励起ガスレーザ

発明者： 佐久川 貴志 ,  家田 正彦
出願人/特許権者： 株式会社明電舎
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-352501
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168434
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 予備電離で主放電を得るレーザヘッドをパルス放電励起するのに、LC共振回路によりピーキングコンデンサを充電するのでは、装置が大型化するし、確実な励起が難しくなる。【解決手段】 パルス放電励起回路は、半導体スイッチSWによってパルス電流を発生し、このパルス電流を磁気スイッチ回路C1,MS1やパルストランスPTを通して、コンデンサとリアクトルのLC回路を多段縦続接続したパルスフォーミングネットワークPFNで先鋭化し、このパルス電流を可飽和リアクトルMS2とレーザヘッドLHの直列回路に印加する。レーザヘッドは、主放電電極を帯状のものにし、予備電離電極は棒状の電極材を誘電体で被覆して主放電電極の一方の電極の近傍に平行配置してピーキングコンデンサを省く。PFNを2段構成にしたブルームライン型とするものも含む。

請求項（抜粋）：

半導体スイッチを用いてパルス電流を発生し、このパルス電流を先鋭化してレーザヘッドに印加し、レーザヘッドに予備電離と主放電を発生させるパルス放電励起回路を備えたパルス放電励起ガスレーザにおいて、前記パルス放電励起回路は、半導体スイッチによってパルス電流を発生し、このパルス電流をコンデンサとリアクトルのLC回路を多段縦続接続したパルスフォーミングネットワークを通して先鋭化し、このパルス電流を可飽和リアクトルとレーザヘッドの直列回路に印加する構成にし、前記レーザヘッドは、主放電電極を帯状のものにし、予備電離電極は棒状の電極材を誘電体で被覆して主放電電極の一方の電極の近傍に平行配置したたことを特徴とするパルス放電励起ガスレーザ。

Fターム (5件)：

5F071CC05 ,  5F071GG05 ,  5F071JJ01 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ07